Измерването на вакуум е важен компонент на вакуумната технология. Инструментът, използван за измерване на степента на вакуум, се нарича вакуумметър.
Често използваните вакуумметри за вакуумни пещи и пещи за вакуумно топене включват вакуумметри с термодвойки, йонизационни вакуумметри и др. Техният принцип на работа е както следва:
(1) Термодвойка вакуумметър
Вакуумният манометър с термодвойка се състои от чувствителни компоненти, манометри с термодвойки и измервателни инструменти. Тръбата за измерване на термодвойката е свързана към тестваната вакуумна система с външна обвивка на стъклена тръба и нагревателни проводници и проводници на термодвойка вътре в тръбата. Поради температурната разлика между студения и горещия край на проводника на термодвойката, във веригата се генерира термоелектричен потенциал. Ако напрежението на нагревателния проводник остане постоянно, потенциалът на проводника на термодвойката е ограничен от температурата на нагревателния проводник, а температурата на нагревателния проводник е свързана с налягането на измервания газ. Ниско налягане, ниска топлопроводимост на газа, по-малко топлина, отнесена от газа, по-висока температура на нагревателния проводник и повишен термоелектрически потенциал на проводника на термодвойката; Напротив, термоелектричният потенциал намалява. Термоелектричният потенциал във веригата се измерва с помощта на миливолтметър, а миливолтовете в измервателния уред отразяват нивото на вакуум. За да се осигури стабилност на напрежението на нагревателния проводник, беше свързано стабилно захранване. И така, измервателният уред се състои от миливолтметър за измерване на термоелектрическия потенциал и стабилизирано захранване с регулиран нагревателен проводник.
(2) Йонизационен вакуумметър
Този тип вакуумметър се използва главно за измерване на високи нива на вакуум. В газовете с ниско налягане и силните газове броят на положителните йони, генерирани от йонизацията на газовите молекули, е право пропорционален на налягането на газа. Съгласно различните методи на йонизация, вакуумметър, който използва горещ катод за излъчване на електрони за йонизиране на газа, се нарича йонизационен вакуумметър с горещ катод; Сред тях вакуумният манометър с горещ катод се състои от манометър с горещ катод и измервателни инструменти. Измервателният уред се състои от регулирано работно захранване, стабилизатор на емисионен ток, усилвател за измерване на йонен ток и други компоненти. Манометърът за йонизация с горещ катод е свързан към тестваната вакуумна система. Манометърът за йонизация с горещ катод е транзистор с катод, затвор и колектор вътре. Съберете полярния потенциал спрямо катодния електроотрицателен потенциал; Портата има положителен потенциал спрямо катода. Когато йонизационният датчик се наелектризира и нагрее, катодът излъчва електрони, които се сблъскват с газови молекули по време на процеса на достигане до портата, което води до йонизация на положителни йони и електрони. Когато емисионният ток е постоянен, броят на положителните йони на ден е право пропорционален на налягането на измерения газ. След като положителните йони се съберат от събирателния електрод и се усилят от измервателната верига, степента на вакуум, която трябва да бъде измерена (пещ в кутия), може да бъде отчетена от показващия електромер.
(3) Композитен вакуумметър
Обикновено единичен вакуумметър не може да се използва за измерване на нисък и висок вакуум, но трябва да се използва композитен вакуумметър, като по-често се използват композитни вакуумметри с йонизация и термодвойка. Неговият диапазон на измерване е 13.33-666.6 × 10-8Pa. Измерване на нисък вакуум при (10-10-10-3) x 133,32Pa с помощта на вакуумметър с термодвойка; Йонизационният вакуумметър измерва висок вакуум от 133,32 × 10-3-666,6 × 10-8Pa. Композитният вакуумметър е оборудван с термодвойка и йонизационен датчик, които са съответно свързани към вакуумната система. Двата измервателни уреда могат да се нагряват отделно от копче и могат да бъдат избрани за използване.